发明名称 CROISSANCE D'UNE REGION MONOCRISTALLINE D'UN COMPOSE III-V SUR UN SUBSTRAT DE SILICIUM MONOCRISTALLIN
摘要 <P>L'invention concerne un procédé de croissance d'une région (22) monocristalline d'un composé III-V sur une surface correspondant à un plan cristallographique d'un substrat (10) de silicium monocristallin, comprenant les étapes consistant à faire croître par épitaxie sur le substrat une couche (12) de germanium monocristallin ; graver dans une partie de l'épaisseur de la couche de germanium une ouverture (14) dont le fond correspond à une unique face inclinée par rapport à ladite surface ou à plusieurs faces inclinées (18, 20) par rapport à ladite surface ; et faire croître le composé III-V monocristallin sur le fond de l'ouverture.</P>
申请公布号 FR2842217(A1) 申请公布日期 2004.01.16
申请号 FR20020008862 申请日期 2002.07.12
申请人 STMICROELECTRONICS SA 发明人 BENSAHEL DANIEL
分类号 C30B25/02;C30B25/18;H01L21/20;H01L29/04 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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