等离子加工用的静电夹紧边环

摘要

一种联接环组合件包括被静电边环夹盘支承的边环，和一种在等离子加工室内改进边环温度控制的方法。边环可用导电材料如硅和碳化硅制成，而边环的温度控制可将热转移气体如氦供应到边环和边环夹盘之间的两个相对的表面上来增强。

主权项

1.一种适宜用来围绕等离子反应室内基片支承的联接环组合件，包括：一个具有环形支承表面的零件；和一个在支承表面上的静电夹盘。