发明名称 半导体处理室内壁保护体
摘要
申请公布号 CN3347217D 申请公布日期 2004.01.14
申请号 CN03310584.7 申请日期 2003.05.20
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 土场重树
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 龙淳
主权项
地址 日本国东京都