发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum flächigen Zusammendrücken zu verbindender scheibenförmiger Elemente
摘要
申请公布号 DE10200538(B4) 申请公布日期 2004.01.08
申请号 DE20021000538 申请日期 2002.01.09
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KROENER, FRIEDRICH
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/58 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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