摘要 |
Ein leitender Film (15a), der eine untere Kondensatorelektrode bildet, besitzt Abschnitte, die senkrecht zur Hauptoberfläche eines Halbleitersubstrats (1) verlaufen, und einen Abschnitt, der parallel zur Hauptoberfläche des Halbleitersubstrats (1) verläuft. Entlang der Oberfläche eines durch den leitenden Film (15a) definierten Aussparungsabschnitts ist ein Isolierfilm (15b) vorgesehen, der einen Kondensatordielektrikumfilm bildet. In einen Aussparungsabschnitt des Isolierfilms (15b) ist ein weiterer leitender Film (15c) eingebettet, der eine obere Kondensatorelektrode bildet. Der leitende Film (15c) und eine Verdrahtungsschicht (65) sind in der gleichen Schicht ausgebildet, so daß die Verdrahtungsschicht (65) als Dummy-Muster eines Kondensators mit den leitenden Filmen (15c) und (15a) wirkt. Folglich wird eine Halbleitervorrichtung mit einem Kondensator erhalten, bei der die elektrostatische Kapazität erhöht und die Menge des Materials zum Ausbilden des Dummy-Musters verringert werden kann, ohne eine große Fläche in der zur Hauptoberfläche des Halbleitersubstrats parallelen Richtung zu belegen.
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