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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl von Halbleiteranordnungen mit Hilfe einer einzigen Photoschablone
摘要
申请公布号 DE1297760(B) 申请公布日期 1969.06.19
申请号 DE1965M066285 申请日期 1965.08.11
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 THACHER ROBINSON, PETER
分类号 C23F1/02;H01L21/00;H01L21/8222;H01L27/00;H01L29/00 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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