| 发明名称 | 热处理装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型是一种热处理装置，其特征在于包括：筒状的处理容器；多段地保持多个被处理物体，同时可以在所述处理容器内插入拔出的被处理物体保持装置；向所述处理容器内导入预定处理气体的处理气体导入装置；设置在所述处理容器内部，在所述被处理物体保持装置插入所述处理容器内时，对所述被处理物体保持装置所保持的多个被处理物体加热的加热装置；对所述处理容器的外壁面冷却的冷却装置。 | ||
| 申请公布号 | CN2597491Y | 申请公布日期 | 2004.01.07 |
| 申请号 | CN02295452.X | 申请日期 | 2002.11.25 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 齐藤孝规;山贺健一;中尾贤 |
| 分类号 | C30B33/02 | 主分类号 | C30B33/02 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 郑建晖 |
| 主权项 | 1.一种热处理装置，其特征在于包括：筒状的处理容器；多段地保持多个被处理物体、同时可以在所述处理容器内插入拔出的被处理物体保持装置；向所述处理容器内导入预定处理气体的处理气体导入装置；向所述处理容器内导入预定冷却气体的冷却气体导入装置；设置在所述处理容器内部、在所述被处理物体保持装置插入所述处理容器内时对所述被处理物体保持装置所保持的多个被处理物体加热的加热装置；和对所述处理容器的外壁面冷却的容器冷却装置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||