图形发生器

摘要

一种图形发生器，用于电子束、离子束等带电粒子的曝光机，属于曝光机的图形发生器硬件。本实用新型提供一种运算速度快、接口简单、功耗低、功能多样的曝光机用的图形发生器，它以高速数字信号处理器为核心，通过通用串行总线接口和上位机实现通讯，该图形发生器不仅可以满足以三角形，矩形和梯形为基本曝光单元图形的曝光格式，而且增加了圆及圆环为基本曝光单元图形，解决了集成光栅器件加工在速度和精度上存在的缺陷。本实用新型由接口电路、双端口存储器电路、数字信号处理器电路、数模转换电路、曝光/标记检测控制电路、标记检测电路、最终曝光数据寄存器单元和束闸控制电路相互连接构成。

主权项

1.一种图形发生器，由接口电路[1]、双端口存储电路[2]、数字信号处理电路[3]、数模转换电路[4]、曝光/标记检测控制电路[5]、标记检测电路[6]、最终曝光数据寄存器单元[7]和束闸控制电路[8]构成，其特征在于，接口电路[1]分别与双端口存储电路[2]、曝光/标记检测控制电路[5]连接，数字信号处理电路[3]分别与双端口存储电路[2]、曝光/标记检测控制电路[5]、标记检测电路[6]、最终曝光数据寄存器单元[7]和束闸控制电路[8]连接，最终曝光数据寄存器单元[7]连接数模转换电路[4]。