| 发明名称 |
Light-impermeable, high purity silicon carbide material, a light shielding member for a semiconductor-treating apparatus, and a semiconductor-treating apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0992608(B1) |
申请公布日期 |
2004.01.02 |
| 申请号 |
EP19990307859 |
申请日期 |
1999.10.06 |
| 申请人 |
NGK INSULATORS, LTD. |
发明人 |
NISHIOKA, MASAO;KATO, NAOTAKA |
| 分类号 |
G01N23/20;C04B35/565;C23C16/01;C23C16/32;C23C16/44;C30B31/10;(IPC1-7):C23C16/00 |
主分类号 |
G01N23/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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