| 发明名称 |
DETECTION AND CLASSIFICATION OF MICRO-DEFECTS IN SEMI-CONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1373869(A1) |
申请公布日期 |
2004.01.02 |
| 申请号 |
EP20020706943 |
申请日期 |
2002.03.27 |
| 申请人 |
AOTI OPERATING COMPANY, INC. |
发明人 |
HIGGS, VICTOR |
| 分类号 |
G01N21/55;G01N21/64;G01N21/95;G01N21/954;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/64 |
主分类号 |
G01N21/55 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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