| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING HYDROGENATED SILICON OXYCARBIDE FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1373595(A1) |
申请公布日期 |
2004.01.02 |
| 申请号 |
EP20020728533 |
申请日期 |
2002.03.20 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORPORATION |
发明人 |
LOBODA, MARK;HWANG, BYUNG |
| 分类号 |
C23C16/42;C23C16/30;C23C16/32;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/32 |
主分类号 |
C23C16/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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