高密度凸栓微连结系统及其制造方法

摘要

一种微接合内连线结构，包含一密集阵列之可精确控制高度之金属突柱，其尖端被装有接合冶金。该阵列系产生于被附着至一载具之装置晶片上，或与其他装置被附着至一载具之装置晶片上，部份之装置可以被选择以具有类似内连线结构，以一起形成一组合载具，其操作为完整之计算、通讯或网路系统。