| 摘要 |
本发明系提供将雷射光束加以分割后之分割光束加以重叠，并在照射面上形成减轻光束间之干涉具有均匀强度分布之照射光束之雷射光均匀照射光学系统。雷射光均匀照射光学系统，系由将由雷射光源所射出之雷射光在光束剖面上作空间性分割为分割光束之波导路径、将分割光束在照射面上重叠进行照射之重叠用透镜、以及将在照射面上之光束强度予以均匀化之延迟板所构成，前述波导路径系前述将前述分割光束宽度设定在雷射光束剖面上其剖面方向之空间性可干涉距离之1／2倍以上，前述之延迟板，系将与前述分割光束互相邻接之邻接分割光束的一方使其对于另一方之雷射光束之时间性可干涉距离更长地加以延迟，以降低分割光束在照射面上之干涉。又，雷射光均匀照射光学系统，系由将由雷射光源所射出之雷射光束在光束剖面上作空间性分割为分割光束之雷射光束分割机构、将分割光束在照射面上重叠进行照射之重叠照射机构、将在照射面上之光束强度予以均匀化之均匀化机构所构成，前述均匀化机构系包含有将与前述分割光束互相邻接之邻接分割光束的一方使其较对于另一方之该雷射光束之时间性可干涉且距离更长地加以延迟之光学性延迟机构。此外，另一之均匀化机构系包含有将与前述分割光束互相邻接之邻接分割光束的一方使其对于另一方在偏光方向作实质地垂直相交之旋光机构。 |
