半导体制造系统紧急停止用控制装置

摘要

本发明之半导体制造系统包含：作为被动装置之半导体制造装置（100）；及作为主动装置之AMHS（300）。半导体制造装置控制盘（120）包含：回应来自ES键（124）之输入，在不停止半导体制造装置（100）的情况下，关闭经由光I／O而输出至AMHS（300）之ES讯号之电路。AMHS（300）包含：在藉由光I／O而输入之ES讯号关闭后，紧急停止AMHS（300）之运送装置（vehicle）（320）及吊臂（330）之电路。