半导体制造用加热器

摘要

1.本产品安装在半导体制造炉中。2.左视图与右视图对称，省略左视图。3.图中B部位表示加热器中的电阻丝套管，B部位的局部轴向放大剖视图表示电阻丝套管的局部一小段沿轴向剖切后的放大示意图，表示套管内部含有螺旋形的电阻丝。