| 发明名称 |
HAFNIUM-ALUMINUM OXIDE DIELECTRIC FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003243407(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.22 |
| 申请号 |
AU20030243407 |
申请日期 |
2003.06.05 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
KIE, Y. AHN;LEONARD FORBES |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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