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发明名称
TORUSFÖRMIGE REAKTIVGASQUELLE MIT NIEDRIGER FELDSTÄRKE
摘要
申请公布号
DE69811497(T2)
申请公布日期
2003.12.18
申请号
DE19986011497T
申请日期
1998.06.23
申请人
APPLIED SCIENCE TECHNOLOGY, WOBURN
发明人
SMITH, K.;CHEN, XING;HOLBER, M.;GEORGEUS, ERIC
分类号
H05H1/46;H01J27/16;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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