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Es wird ein Verfahren zum Kalibrieren eines Sensorelements für eine Grenzstromsonde, insbesondere für eine planare Breitband-Lambdasonde, angegeben, die eine Pumpzelle mit zwei Pumpelektroden (18, 19) aufweist, von denen eine innere Pumpelektrode (18) durch eine poröse Diffusionsbarriere (21) abgeschirmt ist. Zum hochgenauen Abgleich des Diffusionswiderstands der Diffusionsbarriere (21) auf einen Vorgabewert wird bei der Fertigung des Sensorelements die Dicke der Diffusionsbarriere (21) so bemessen, daß die Diffusionsbarriere (21) bei Einhaltung der Fertigungstoleranzen einen gegenüber dem Vorgabewert kleineren Diffusionswiderstand besitzt. Am fertigen Sensorelement wird mittels eines Precursorgases durch Sublimation ein den Diffusionswiderstand auf den Vorgabewert vergrößernder Materialeintrag in die Diffusionsbarriere (21) eingebracht.
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