| 发明名称 | 高耐久性石英玻璃，其制造方法，使用它的部件及装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及含有Al和选自周期表第2A族元素、第3A族元素及第4A族元素中的一种以上元素(M)的高耐久性石英玻璃。优选Al和元素(M)的含量之和以金属元素总计量为基准在30原子％以上，并且Al和元素(M)的原子比在0.05～20范围。该石英玻璃为高纯度，并且在维持石英玻璃具有的良好加工性、低发尘性的情况下具有高耐久性，因此，适合作为使用卤化物气体和/或其等离子体的半导体制造装置或液晶制造装置的部件。 | ||
| 申请公布号 | CN1461740A | 申请公布日期 | 2003.12.17 |
| 申请号 | CN03145460.7 | 申请日期 | 2003.03.11 |
| 申请人 | 东曹株式会社;东曹石英股份有限公司;东曹石英素材股份有限公司 | 发明人 | 新井一喜;高畑努;桥本真吉;桐谷英昭;原田美德 |
| 分类号 | C03C4/00;C03C3/04;H01L21/205 | 主分类号 | C03C4/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王健 |
| 主权项 | 1.一种高耐久性石英玻璃，其特征在于：含有Al和选自周期表第2A族元素、第3A族元素及第4A族元素中的一种以上的元素(M)。 | ||
| 地址 | 日本山口县 | ||