| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING FERROELECTRIC MEMORY CELLS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1371093(A2) |
申请公布日期 |
2003.12.17 |
| 申请号 |
EP20020727262 |
申请日期 |
2002.03.22 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KASKO, IGOR;KROENKE, MATTHIAS |
| 分类号 |
H01L27/105;H01L21/02;H01L21/768;H01L21/8246;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L27/105 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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