超纯水中微粒子之测定装置及超纯水中微粒子之测定方法

摘要

提供一种可测定超纯水中之细微且含有量极少的微粒子之新式测定方法。着眼于超纯水制造系统的配水系统之超纯水所含有的微粒子是具有对数正规分布，利用针对0.1μm以上的微粒子测定个数频度，来决定此超纯水所含有的微粒子之对数正规分布，由此分布来获得超纯水所含有的未满测量粒子径的微粒子之个数。