电容器之制造方法

摘要

〔课题〕提供即使在采用由金族金属作为下部电极的材料，且采用高电容率的金属氧化物作为电介质膜的材料时，电容器的电力特性不会恶化的、可能应对高深宽比的下部电极之形成的电容器之制造方法。〔解决手段〕使到达接触插塞2的接触孔8朝着绝缘膜7开口。且于接触孔8的表面形成电介质膜9。然后，蚀刻除去接触孔8的底部之电介质膜9，使到达接触插塞2的接触孔18开口。而且，填充接触孔8、18内来形成下部电极11。