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发明名称
摘要
申请公布号 JP3479041(B2) 申请公布日期 2003.12.15
申请号 JP20000364147 申请日期 2000.11.30
申请人 发明人
分类号 C30B29/38;C23C16/00;C23C16/34;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/38 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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