发明名称
摘要
申请公布号 JP3478497(B2) 申请公布日期 2003.12.15
申请号 JP20000375212 申请日期 2000.12.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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