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发明名称
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN IN EINEM FLUID-BEHÄLTER
摘要
申请公布号
AT256339(T)
申请公布日期
2003.12.15
申请号
AT19980910672T
申请日期
1998.02.14
申请人
STEAG MICROTECH GMBH
发明人
WEBER, MARTIN
分类号
B65G49/04;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
B65G49/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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