发明名称 |
Photonische Halbleitervorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE10136727(C2) |
申请公布日期 |
2003.12.11 |
申请号 |
DE20011036727 |
申请日期 |
2001.07.27 |
申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
MATSUMOTO, KEISUKE |
分类号 |
G02F1/017;H01S5/026;H01S5/12;H01S5/227;H01S5/40;(IPC1-7):G02B6/42 |
主分类号 |
G02F1/017 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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