发明名称 Photonische Halbleitervorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 DE10136727(C2) 申请公布日期 2003.12.11
申请号 DE20011036727 申请日期 2001.07.27
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MATSUMOTO, KEISUKE
分类号 G02F1/017;H01S5/026;H01S5/12;H01S5/227;H01S5/40;(IPC1-7):G02B6/42 主分类号 G02F1/017
代理机构 代理人
主权项
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