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发明名称 MAGNETIC FIELD GENERATOR FOR MAGNETRON PLASMA
摘要
申请公布号 KR20030094079(A) 申请公布日期 2003.12.11
申请号 KR20030035211 申请日期 2003.06.02
申请人 发明人
分类号 H05H1/10;H05H1/46;B01J19/08;C23C14/35;H01F7/02;H01J37/32;H01L21/3065;H05H1/11 主分类号 H05H1/10
代理机构 代理人
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