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经营范围
发明名称
METHODS FOR CLEANING MICROELECTRONIC STRUCTURES
摘要
申请公布号
EP1368136(A1)
申请公布日期
2003.12.10
申请号
EP20020724947
申请日期
2002.02.14
申请人
MICELL TECHNOLOGIES, INC.
发明人
DEYOUNG, JAMES, P.;GROSS, STEPHEN, M.;MCCLAIN, JAMES, B.;COLE, MICHAEL, E.;BRAINARD, DAVID, E.;DESIMONE, JOSEPH, M.
分类号
G03F7/32;B08B7/00;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B3/00;F26B3/00;G03F7/42;H01L21/00
主分类号
G03F7/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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