发明名称 METHODS FOR CLEANING MICROELECTRONIC STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP1368136(A1) 申请公布日期 2003.12.10
申请号 EP20020724947 申请日期 2002.02.14
申请人 MICELL TECHNOLOGIES, INC. 发明人 DEYOUNG, JAMES, P.;GROSS, STEPHEN, M.;MCCLAIN, JAMES, B.;COLE, MICHAEL, E.;BRAINARD, DAVID, E.;DESIMONE, JOSEPH, M.
分类号 G03F7/32;B08B7/00;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B3/00;F26B3/00;G03F7/42;H01L21/00 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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