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发明名称
摘要
申请公布号	JP3476395(B2)	申请公布日期	2003.12.10
申请号	JP19990270464	申请日期	1999.09.24
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;F24F3/16;F24F7/06;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
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