发明名称 | 电子束辐射装置 | ||
摘要 | 一种电子束辐射装置,可避免在最大扫描点处电子束会聚的问题,恒定获得均匀能量密度的辐射区域,该装置包括:电子束源12,加速电子束源发射的电子的加速管13,对加速管形成的高能电子束施加磁场以控制电子束束直径的聚焦电磁铁16,以及用于向电子束施加磁场来偏转和扫描已被控制束直径的电子束的电磁铁17,其中与扫描电磁铁17的电流I<SUB>S</SUB>同步的电流成分I<SUB>F</SUB>被迭加到聚焦电磁铁16的电流I<SUB>F</SUB>上,由此控制聚焦电磁铁的电流I<SUB>F</SUB>,使所述束直径在最大扫描点上成为最大。 | ||
申请公布号 | CN1130243C | 申请公布日期 | 2003.12.10 |
申请号 | CN99104388.X | 申请日期 | 1999.03.26 |
申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 内藤仪彦 |
分类号 | B01D53/32;H01J49/14 | 主分类号 | B01D53/32 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 杜日新 |
主权项 | 1.一种电子束辐射装置,包括:电子束源;用于加速从所述电子束源发射的电子的加速管;用于向由所述加速管形成的高能电子束施加磁场以便控制电子束的直径的聚焦电磁铁;以及用于向所述电子束施加磁场以使所述直径被控制的电子束偏转及扫描的扫描电磁铁,所述电子束辐射装置的特征在于:与所述扫描电磁铁的正弦波或三角波交流电流同步的电流成分,被迭加到流经所述聚焦电磁铁的直流电流上,以此方式来控制所述聚焦电磁铁的电流使所述束直径在所述扫描的最大点上变为最大。 | ||
地址 | 日本东京 |