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发明名称 PROCESS AND DEVICE FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER
摘要
申请公布号 EP0970509(B1) 申请公布日期 2003.12.10
申请号 EP19980910672 申请日期 1998.02.14
申请人 STEAG MICROTECH GMBH 发明人 WEBER, MARTIN
分类号 B65G49/04;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/04
代理机构 代理人
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