发明名称 TRATTAMENTO TERMICO RAPIDO CON ARGON/AMMONIACA PER WAFER DI SILICIO WAFER DI SILICIO FABBRICATI IN TALE MODO E CAMERE DI CRESCITA CZOCHRALSK
摘要
申请公布号 ITMI20021248(A1) 申请公布日期 2003.12.09
申请号 IT2002MI01248 申请日期 2002.06.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. 发明人 PARK JEA-GUN
分类号 H01L 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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