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发明名称
STRUCTURE AND METHOD FOR FORMING A BODY CONTACT FOR VERTICAL TRANSISTOR CELLS
摘要
申请公布号
WO0247116(A8)
申请公布日期
2003.12.04
申请号
WO2001US44624
申请日期
2001.11.28
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP.
发明人
GRUENING, ULRIKE;KLOSE, HELMUT;BERGNER, WOLFGANG
分类号
H01L21/8242;(IPC1-7):H01L/
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
主权项
地址
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