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发明名称 Vorrichtung zur Bearbeitung von Einzelhalbleiterwafern mit In-situ-Temperaturregelung
摘要
申请公布号 DE69630501(D1) 申请公布日期 2003.12.04
申请号 DE19966030501 申请日期 1996.08.09
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK;KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, TOKIO/TOKYO 发明人 HASEGAWA, ISAHIRO;MULLER, KARL PAUL;POSCHENRIEDER, BERNHARD L.;TIMME, HANS-JOERG;VAN KESSEL, THEODORE
分类号 C23C16/52;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/683;H01L35/28;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
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