Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung einer Anti-Haftschicht auf einem mikromechanischen Bauteil

摘要

Es wird ein mikromechanisches Bauteil (2) mit einer wenigstens bereichsweise an seiner Oberfläche (4) aufgebrachten, aus wenigstens einem fluorhaltigen Silan gebildeten Anti-Haftschicht (3) zur Reduzierung von Oberflächenhaftkräften beschrieben. Die Anti-Haftschicht (3) ist zur Erhöhung einer mechanischen und thermischen Belastbarkeit als Multilagenschicht ausgeführt, die aus mindestens einer Metalloxidschicht (7, 8) und mindestens einer Schicht (5, 6) aus wenigstens einem fluorhaltigen Silan gebildet ist (Figur 1).