压电谐振器、它的制造方法和调节其谐振频率的方法

摘要

本发明提供了一种以方形振动模式振动的压电谐振器，包括具有第一主表面和第二主表面的压电基片；设置在压电基片的第一主表面和第二主表面上的电极和设置在压电基片的第一主表面和第二主表面的至少一个主表面中的凹槽。凹槽将所述电极中的至少一个电极分为多个区域，从而通过改变设置在压电基片上的凹槽的位置、宽度和深度而变化谐振器的静电电容。

主权项

1.一种压电谐振器，其特征在于包括：具有第一主表面和第二主表面的压电基片；至少两个电极，每个所述电极设置在所述压电基片的所述第一主表面和所述第二主表面各自的一个主表面上；及设置在所述第一主表面和所述第二主表面的至少一个主表面上的凹槽，所述凹槽将至少所述两个电极之中的至少一个电极分为彼此相邻的多个区域，所述多个区域为方形，所述压电谐振器以方形振动模式振动。