| 发明名称 | 制备各向异性晶体膜的方法及实施该方法的装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及制备各向异性晶体膜的方法和实施该方法的装置。将含有不等轴颗粒的胶体体系作为膜涂布在基片的表面，同时降低胶体体系的粘度。对降低了粘度的胶体体系中的颗粒进行导向，使其回复到胶体体系的起始粘度。然后对膜进行干燥，该干燥在可控制条件下进行。对已干燥的膜的区带可进行渐进加热以改善膜的特性。 | ||
| 申请公布号 | CN1460282A | 申请公布日期 | 2003.12.03 |
| 申请号 | CN02801013.2 | 申请日期 | 2002.02.06 |
| 申请人 | 奥普逖娃公司 | 发明人 | 帕维尔·拉扎列夫;维克托·纳扎罗夫;纳塔利娅·奥夫钦尼科娃 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余刚 |
| 主权项 | 1.一种制备各向异性晶体膜的方法，包括下述步骤：在基片上涂布一层含不等轴颗粒的胶体体系，对所述胶体体系进行外部处理以降低所述胶体体系的所述涂布层的粘度，对所述胶体体系施加外部导向作用以对所述胶体体系中的颗粒提供主导向，使具有所述颗粒的主导向的所述已沉积胶体体系至少回复到其起始粘度值，以及干燥所述已沉积层。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||