发明名称 抗静电功能增强板和它的制造方法
摘要 一种抗静电功能增强板,在其基底上包括:两层其上按不同量掺杂锡的掺锡氧化铟薄膜;两层其上按不同量掺杂锑的掺锑氧化锡薄膜;或两层其上按不同量掺铝的掺铝氧化锌薄膜。在上述的掺锡氧化铟薄膜、上述的掺锑氧化锡薄膜或上述的掺铝氧化锌薄膜的上(表面)层中锡、锑或铝的搀杂量大于下层锡、锑或铝的搀杂量。
申请公布号 CN1129560C 申请公布日期 2003.12.03
申请号 CN98120357.4 申请日期 1998.09.09
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 服部章良;长谷川真也;吉池信幸
分类号 C03C17/42;G03B27/62 主分类号 C03C17/42
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 林蕴和
主权项 1.一种抗静电功能增强板,在其基底上包括:在两层中按不同量掺杂锡的两层掺锡氧化铟薄膜;在两层中按不同量掺杂锑的两层掺锑氧化锡薄膜;或在两层中按不同量掺铝的两层掺铝氧化锌薄膜;所述锡薄膜或其他薄膜的总厚度不超过80nm,而且在所述掺锡氧化铟薄膜、掺锑氧化锡薄膜或掺铝氧化锌薄膜的上层中锡、锑或铝的搀杂量大于下层。
地址 日本国大阪府