有机小分子－半导体发光显示器连续生产设备及工艺

摘要

一种有机小分子—半导体发光显示器连续生产设备及工艺，它包括小喷嘴型蒸发炉以及使用小喷嘴型蒸发炉的OLED－LED显示器的生产设备。它在原来的敞口式束源炉上增加了带有小喷嘴的盖，或直接把炉体和带有小喷嘴的盖制成一体，或加大炉体尺寸，制成单炉腔或多炉腔和带有单排或多排小喷嘴的盖的小喷嘴型蒸发炉；或是单炉腔或多炉腔和带有单排或多排小喷嘴的盖制成一体的小喷嘴型蒸发炉。由于使用了小喷嘴型蒸发炉，因此彻底抛弃了掩模板，从而也彻底解决了使用掩模板给OLED－LED显示器生产设备和制造工艺所带来的诸多问题，是OLED－LED显示器制造工艺技术的一次革命性的飞跃，使得OLED－LED显示器的生产能够实现高效率、大规模、低成本。

主权项

1.有机小分子-半导体发光显示器连续生产设备，其特征在于它包括用于OLED-LED显示器的制造的小喷嘴型蒸发炉以及使用小喷嘴型蒸发炉的OLED-LED显示器的生产设备；所述的小喷嘴型蒸发炉可以是由任意容积、形状、数量、排列方式的炉腔与带有任意形状、数量和排列方式的小喷嘴的盖组合而成的炉体；也可以是由任意容积、形状、数量、排列方式的炉腔与带有任意形状、数量和排列方式的小喷嘴组成的整体炉体；所述的使用小喷嘴型蒸发炉的OLED-LED显示器的生产设备包括有机沉积室和金属沉积室；有机沉积室的前端和金属沉积室的后端必须连有闸阀、或者是门、或者是其它真空室；有机沉积室和金属沉积室可以直接相连，也可以通过闸阀或者是其它真空室相连；可以有多个有机沉积室直接相连，也可以通过闸阀或者是其它真空室相连；可以有多个金属沉积室直接相连，也可以通过闸阀或者是其它真空室相连；每个有机沉积室和金属沉积室都可以直接或者是通过闸阀或者是其它真空室挂接各自的有机发光材料库和金属材料库。