自基板削除一层之装置及相关方法

摘要

本发明提供一种用于自动削除材料(20a)之一层之高精密装置，该层材料经由一弱区(200c)固定至一来源基板(20b)，该来源基板与该待削除层形成一待削除单元(20)，该装置具有削除机构(101，102)及用于支持待削除单元的支持机构(100a，100b)，该装置的特征为该支持机构能够以受控制的方式移动，以主动伴随该待削除单元之每一部分的隔离及／或变形，以修正该隔离及／或该变形。本发明也提供一种相关的自动削除方法。