| 发明名称 |
Vorrichtung zum Drehen und Polieren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69718601(T2) |
申请公布日期 |
2003.11.27 |
| 申请号 |
DE19976018601T |
申请日期 |
1997.10.09 |
| 申请人 |
EBARA CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
TOGAWA, TETSUJI;YAMAGUCHI, KUNIAKI |
| 分类号 |
B08B17/00;H01L21/00;(IPC1-7):B08B17/00 |
主分类号 |
B08B17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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