| 摘要 |
In einer optischen Positionsmesseinrichtung mit einer Abtasteinheit (2), die eine Lichtquelle (4), eine Abbildungsebene (9) und eine Linsenoptik (8) zur Erzeugung eines Abbildes einer periodischen Gitterstruktur (10) in der Abbildungsebene (9) enthält, besteht die Linsenoptik (8) aus einem periodischen Linsenarray (80) mit der Gitterperiode oder dem gegenseitigen Abstand benachbarter Linsen (81, 82) DOLLAR F1 mit A¶G¶(r) der Gitterperiode des Linsenarrays, t(r) der Periode der periodischen Gitterstruktur (10), DOLLAR I2 dem Absolutbetrag des Abbildungsmaßstabes beta des Linsenarrays (80), PSI einem vorgebbaren, definierten Phasensprung, r dem Radius der Gitteranordnung, der für ein lineares Gitter r = INFINITY ist, während A¶G¶, t und beta Konstanten sind sowie i, k, n natürliche Zahlen einschließlich Null.
|
