| 发明名称 |
ION SOURCE FOR SLOW-ION SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1270496(A) |
申请公布日期 |
1972.04.12 |
| 申请号 |
GB19700049277 |
申请日期 |
1970.10.16 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/08;B23K15/00;C23C14/46;H01J27/02;H01J37/34;H05H7/08 |
主分类号 |
H01J37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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