发明名称 Zwei-dimensionale Positionierungseinrichtung und Verfahren zur Messung von Laserlicht der Einrichtung
摘要
申请公布号 DE60006060(D1) 申请公布日期 2003.11.27
申请号 DE2000606060 申请日期 2000.10.27
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORPORATION, MUSASHINO 发明人 ONO, YUTAKA;HASHIDA, SHIGERU;KOIZUMI, YUTAKA;KAIHO, FUMIO;KOSUGI, YASUHITO;JIMBO, RYUICHI;KIMURA, ATSUFUMI
分类号 G01B9/02;G03F7/20;G05B19/23;H02K11/00;H02K41/03;(IPC1-7):G05D3/12;H02N1/00;G01B11/02;H02P7/63 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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