发明名称 RELAXED SILICON GERMANIUM PLATFORM FOR HIGH SPEED CMOS ELECTRONICS AND HIGH SPEED ANALOG CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP1364411(A1) 申请公布日期 2003.11.26
申请号 EP20020709406 申请日期 2002.02.07
申请人 AMBERWAVE SYSTEMS CORPORATION 发明人 FITZGERALD, EUGENE, A.
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/337;H01L21/762;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/10;H01L29/78;H01L29/80;(IPC1-7):H01L29/80;H01L21/336;H01L29/778 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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