发明名称 |
RELAXED SILICON GERMANIUM PLATFORM FOR HIGH SPEED CMOS ELECTRONICS AND HIGH SPEED ANALOG CIRCUITS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1364411(A1) |
申请公布日期 |
2003.11.26 |
申请号 |
EP20020709406 |
申请日期 |
2002.02.07 |
申请人 |
AMBERWAVE SYSTEMS CORPORATION |
发明人 |
FITZGERALD, EUGENE, A. |
分类号 |
H01L21/02;H01L21/20;H01L21/337;H01L21/762;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/10;H01L29/78;H01L29/80;(IPC1-7):H01L29/80;H01L21/336;H01L29/778 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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