一种用于砷化镓单晶生长的光学测径装置

摘要

本实用新型公开了一种用于砷化镓单晶生长的光学测径装置，它包括图像采集部分、图像选择部分、图像处理部分及测量结果输出部分，各部分间通过数据传输线缆联接。图像采集部分为一架设在砷化镓单晶生长炉室观察窗外的数码摄像机；图像选择部分为一数字滤波器；图像处理部分为一可实现根据观察到的晶体的不连续弯月面计算出晶体直径的计算机；测量结果输出部分为一显示设备。本实用新型可以直接获得晶体直径的数据，避免由液封剂浮力变化、旋转机构转速变化、拉速变化、晶体重心与旋转轴不重合等原因造成的测量误差，使直径的测量值更加准确。

主权项

1、一种用于砷化镓单晶生长的光学测径装置，其特征在于：它包括图像采集部分、图像选择部分、图像处理部分及测量结果输出部分，各部分间通过数据传输线缆联接，其中：所述的图像采集部分为一架设在砷化镓单晶生长炉室观察窗外的数码摄像机；所述的图像选择部分为一数字滤波器；所述的图像处理部分为一可实现根据观察到的晶体的不连续弯月面计算出晶体直径的计算机；所述的测量结果输出部分为一显示设备。