| 发明名称 |
Optical element, and light source unit and exposure apparatus having the same |
| 摘要 |
An optical element includes plural multilayer mirrors, wherein the multilayer mirrors are renewable.
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| 申请公布号 |
US2003214735(A1) |
申请公布日期 |
2003.11.20 |
| 申请号 |
US20030439711 |
申请日期 |
2003.05.16 |
| 申请人 |
MASAKI FUMITARO;MIYAKE AKIRA |
发明人 |
MASAKI FUMITARO;MIYAKE AKIRA |
| 分类号 |
G02B1/10;G02B5/08;G02B17/06;G02B27/00;G03F7/20;G03F7/22;H01L21/027;(IPC1-7):G02B5/08 |
主分类号 |
G02B1/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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