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发明名称
VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINES MIKRO-ELEKTROMECHANISCHEN ELEMENTS
摘要
申请公布号
DE59907399(D1)
申请公布日期
2003.11.20
申请号
DE19995007399
申请日期
1999.09.29
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
NEUMEIER, KARL;BOLLMANN, DIETER
分类号
G01L9/06;G01L9/12;G01L13/02;G01P15/08;(IPC1-7):G01L13/02
主分类号
G01L9/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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