发明名称 Semiconductor memory with capacitor dielectric
摘要
申请公布号 EP0967651(A3) 申请公布日期 2003.11.19
申请号 EP19990112133 申请日期 1999.06.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 NAGANO, YOSHIHISA;HAYASHI, SHINICHIRO;UEMOTO, YASUHIRO
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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