发明名称 Optical element and method of recovering a substrate
摘要
申请公布号 EP1191356(A3) 申请公布日期 2003.11.19
申请号 EP20010122158 申请日期 2001.09.15
申请人 CARL ZEISS STIFTUNG 发明人 SALASHCHENKO, NIKOLAY, PROF. DR.
分类号 G02B1/00;B32B15/04;G02B1/10;(IPC1-7):G02B1/10;G02B5/00;G02B5/08 主分类号 G02B1/00
代理机构 代理人
主权项
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