发明名称 |
Optical element and method of recovering a substrate |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1191356(A3) |
申请公布日期 |
2003.11.19 |
申请号 |
EP20010122158 |
申请日期 |
2001.09.15 |
申请人 |
CARL ZEISS STIFTUNG |
发明人 |
SALASHCHENKO, NIKOLAY, PROF. DR. |
分类号 |
G02B1/00;B32B15/04;G02B1/10;(IPC1-7):G02B1/10;G02B5/00;G02B5/08 |
主分类号 |
G02B1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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